去离子水,一般采用的是反渗透+离子交换混床工艺制得的纯水,一般电导率可以达到0.056us/cm,很容易制取高纯度的水,成本比较低,也是目前普遍制取纯水的工艺.但是,在问题方面,如果不加处理,不如蒸馏水好.这种工艺制得的纯水,微生物含量比较有保障.如果离子交换工艺做的去离子水,后端采用了杀菌措施,则去离子水的纯度会更高一些,而且成本更低.

去离子水就是将水通过阳离子交换树脂 ,则水中的阳离子被树脂所吸收，树脂上的阳离子H+被置换到水中，并和水中的阳离子组成相应的无机酸；含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂（常用的为苯乙烯型强碱性阴离子）是指化学纯度的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升"级。在纯水的制作中。

但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。
工业去离子水继续在蒸发器中盘旋上升，经过汽水分离装置，作为纯蒸汽从纯蒸汽出口输出，工业蒸汽在蒸发器被原料水吸收热量后凝结成工业蒸汽凝结水作为预热器的加热源，预热原料水后从预热器不凝结水排放出口排出机外，采用高温高压操作，确保稳定生产无热原注射用水，所生产的蒸馏水。

工业去离子水，然后在进入蒸发器顶部经分水装置，均匀地分布进入蒸发列管，在蒸发列管内形成薄膜状的水流；这些水流因为薄所以很快被蒸发。流量越大，进料水量与蒸汽压力相匹配，另外一效液位与进料水流量应联锁控制，多效蒸馏水机蒸馏水出水温度自动调节功能：当蒸馏水的温度高于92℃时，冷却水开启，低于90℃时，冷却水关闭，使出水温度自动稳定，有条件应使用调节阀，定时测定PH值，PH值在所1~2之间为正常；