工业蒸馏水与高纯水,去离子水,其实都是纯度非常高的水,水中的杂质含量很少,一般电导率都在1us/cm以下,主要区别在于制作工艺的不同,以及有些杂质含量有区分,工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水,一般普通蒸馏取得的水纯度不高,经过多级蒸馏水,出水才可达到很纯,成本相对比较高.

去离子水，是指化学纯度的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升"级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。

9、25℃理想状态下超纯水的电阻率值是18.25 MΩ.cm，对应电导率换算是0.055us/cm。