超纯水指的是水中的离子几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。需要经过预处理、反渗透、EDI、树脂、杀菌器等多层工艺才能够制成，超纯水的电阻率能够达到18兆欧·CM，高能够达到18.25兆欧·CM。

　　蒸馏水的制作是把源水煮沸后令其蒸发冷凝回收，要大量耗费热能，造价不会太低，用于制作蒸馏水的源水中的其它遇热蒸发物质，也就随着蒸馏水的生成而冷凝到蒸馏水中。如对健康有害的酚类、苯化合物，甚至可蒸发的汞等。要想得到纯净水或超纯水，必须经过二次、三次的蒸馏还得增加其它纯净手段。

　　不过市场供饮用的蒸馏水不大可能这么做，也没有必要这么做。

　　同时，常饮蒸馏水就等于放弃了从水中获得人体所需的微量元素的5%的来源。

　　实验室做蒸馏水器是自来水用电加热致沸，其蒸气过冷凝管冷凝成蒸馏水，收集即得。

　　蒸馏水指标编辑

　　1 灼烧渣含量 （≤0.01 %）

　　2锰（Mn）含量 （≤0.00001%）

　　3铁（Fe）含量 （≤0.0004 %）

　　4氯（Cl） （≤0.0005 %）

　　5 还原物质（O）含量 （≤0.0002 %）

　　6 透明度 （mm） 无色透明

　　7 电阻率（25℃） （≥10x104 Ωcm）

　　8硝酸及亚硝酸盐（以N计） （ ≤0.0003 %）

　　9 铵（NH4）含量 （≤0.0008 %）

　　10 碱土金属氧化物（CaO计） （≤0.005 %）

　　11颜色 呈淡蓝色或无色

　　蒸馏水是指经过蒸馏、冷凝操作的水，蒸二次的叫重蒸水，三次的叫三蒸水。低耗氧量的水，加入与酸工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得。词条详细介绍了蒸馏的概念、蒸馏水、多次蒸馏水、蒸馏水的标准、制作方法、优点、用途；并且与去离子水、高纯度水、超纯水进行了对比分析。