去离子水是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子"定义为：“去离子水或不地去除离子物质。"如今的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起的繁殖。

　　去离子水，又称纯水，或深度脱盐水。一般系指将水中易去除的强导电质去除又将水中难以去除的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。

　　反渗透-离子交换设备制取去离子水，水质稳定，纯度较高，其基本工艺流程为：

　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→混床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：

　　1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。

　　2、然后高压通过反渗透膜。

　　3、后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。

　　4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程高电阻率可达到18兆。

　　相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。