从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：

　　1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。

　　2、然后高压通过反渗透膜。

　　3、后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。

　　4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程高电阻率可达到18兆。

　　相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。

　　反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：

　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。

　　去离子水制取工艺

　　1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：

　　原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床→后置保安过滤器→用水点。

　　去离子水，由于在反渗透预处理中绝大多数都先用活性炭去除了部分非电解质，并且电导率非常容易测量，所以纯水纯度往往也用电导率衡量。但如果要获得纯度的高纯水，还是需通过去除电解质的混床、EDI方法。