一、测量精度:
1、重复精度: ±1um(3σ)
2、X方向分辨率:10um
3、Y方向分辨率:10um
4、Z方向分辨率:0.2um
二、设备能适应的被测物规格:
1、有效测量宽度≤ 8mm
2、有效扫描长度≤150mm
3、高度变化范围≤300um
深圳市大成精密设备股份有限公司
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一、测量精度: 1、重复精度:±1um(3σ) 2、X方向分辨率:10um 3、Y方向分辨率:10um 4、Z方向分辨率:0
一、测量精度:
1、重复精度: ±1um(3σ)
2、X方向分辨率:10um
3、Y方向分辨率:10um
4、Z方向分辨率:0.2um
二、设备能适应的被测物规格:
1、有效测量宽度≤ 8mm
2、有效扫描长度≤150mm
3、高度变化范围≤300um
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