设备参数:
1、测量范围:0.1um~100um
2、测量精度:0.4%
3、测量重复性:±0.4nm
4、波长范围:380nm~1100 nm
5、响应时间:5~500ms
6、测量光斑:1mm~30mm
7、动态扫描测量重复性:10nm
深圳市大成精密设备股份有限公司
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设备参数: 1、测量范围:0
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1、测量范围:0.1um~100um
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3、测量重复性:±0.4nm
4、波长范围:380nm~1100 nm
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