氦质谱检漏仪电磁阀检漏
上海伯东某客户是日本半导体设备厂精密零件供应商, 生产的镭射焊接电磁阀用于半导体设备上, 由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求电磁阀成品最终漏率低于 5-10 mbar l / s, 经过伯东推荐采用氦质谱检漏仪 ASM 340 完成电磁阀阀芯的泄漏检测.

氦质谱检漏仪 ASM 340 优点
1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h
2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 l/s
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检测漏率：
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界最小漏律
4. 移动式操作面板（有线, 无线）
5. 集成 SD卡, 方便资料处理
6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等
8. 检测时间短

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