氮封水箱的作用与原理：电阻值15兆欧以上的超纯水基本为水分子溶剂，它的溶解能力很强，一旦超纯水与空气接触，超纯水的电阻率就会迅速下降，如果15MΩ·m以上的超纯水与空气接触1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.m，3分钟以后就会下降到2MΩ.m左右，为获得稳定的较高阻值的超纯水，故储存容器需确保水体不与空气的接触。

超纯水与空气隔绝的方法：

充氮法：即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力，阻止大气与箱内水面接触。

薄膜袋法：即在在水箱内设置袋状薄膜覆盖于水面上，薄膜袋随水位升降，减少水面与空气接触面积。

浮顶法：即以密度比水轻的轻质材料在水箱内制成整块板状浮顶浮于水面，并用轻质弹性材料（如海绵、发泡塑料等）遮盖浮顶与箱间的间隙，浮顶随水面升降。

在上述三种方法中又以氮封水箱*常见，实施*简单，效果*好。

氮封装置的原理：

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成，而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成，当储罐内压力升高至设定压力时，快速泄放阀迅速开启，将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时，开启阀门，向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下，现场N2压力较高，必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。

压力可按要求分段设定，从0.5Kpa至60 Kpa以下。微压调节阀压力调节范围内选定一设定值 如：3Kpa。泄氮设定值的设定应远离供氮压力值，如：8Kpa。具体压力的设定值要根据纯水系统的产水量和水箱容量大小来确定选择。