1、净化工作台的清洁要求：
（1）清洁净化工作台内的墙时应使用净化工作台无尘布。
（2）用90％去离子水和10％的异丙醇配置清洁剂。
（3）使用已获批准的净化工作台专用去污剂。
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。
（6）清洁净化工作台的地面应使用专用拖把。
（7）在净化工作台里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。
（8）所有的门都需要检查并擦干。
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。
2、净化工作台的清洁和保养：
（1）外部的保洁：由于很多超净台都是在非洁净车间使用，外界的灰尘很容易对超净工作台产生影响。一般外部的工作台面用不掉毛的清洁布擦拭即可。
（2）工作台面的保洁：由于工作台面的材质为SUS304不锈钢，所以一般使用无尘车间的专用抹布进行清洁。尤其注意的是禁止使用容易掉毛的毛巾进行擦拭。在擦拭过程中，也可以使用酒精作为擦拭液体，酒精容易挥发，可很好的起到台面的保洁工作。
（3）初效过滤网的更换：由于初效过滤网一般为G4过滤棉，过滤棉可清洗3-4次左右，勤洗勤换初效过滤网可有效的保护高效过滤器和风机。
（4）风机的保养：由于风机的持续长时间运转，很难避免有一些灰尘会进入到风机内部，需要定期对风机的轴承进行加润滑油保养。同时要对风机叶轮和表面的灰尘进行酒精擦拭。
（5）高效过滤器的保洁：高效过滤器的滤芯由于其过滤精度较高，且主要材质是玻璃纤维纸材质，不能清洗只能定期更换。根据使用环境，一般在非洁净的密闭空间里，2年左右就需要更换一次。