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万级洁净室技术标准

2025年03月05日 09:57:43      来源:大吉利兴业(厦门)环保科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:8

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万级洁净室技术标准

洁净度等级

尘粒*大允许数/pc.m3

换气次数/h

气流流型

≥0.5μm

≥5μm

10 000

350 000

2 000

15~25

非单向流

压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。

万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。洁净室湿度控制在45-65%。

配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。

噪声控制

一、动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。

气流组织

万级洁净室主要采用的送风方式:1、局部孔板顶棚送风 ;2、带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风 等三种送风方式。

万级洁净室主要采用的回风方式:1、单侧墙下部布置回风口;2、当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口 。

送风口风速米/秒):1.孔板孔口3~5; 2、侧送风口:⑴贴附射流2~5 ;⑵非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回凤1.0~1.5 。

回风口风速(米/秒):1、洁净室回风口不大于2;2、走廊内回风口不大于4。


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