真空探针热台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性（支持频率上达67GHz），探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
真空探针热台关机操作：
（1）所有圆片测试完毕后，载片吸盘上没有圆片且已回到右下角上料位置，此时可以关机。
（2）关闭显微镜照明灯开关。
（3）关闭自动探针台电源模块上的主机电源。
（4）关闭自动探针台总电源（即电源插座开关），确认散热风扇处于停止状态。
（5）关闭真空阀（顺时针为关）。
（6）关闭压缩空气阀（顺时针为关）。
真空探针热台安全注意事项：
（1）在没有真空或压缩空气（或压力不足）的情况下严禁开机测试。
（2）为了保护设备，开机时必须先开真空和压缩空气阀，再开自动探针台电源模块上的主机电源；关机时必须先关自动探针台电源模块上的主机电源，再关真空和压缩空气阀。
（3）打开自动探针台电源模块上的主机电源之前，必须确认散热风扇处于转动状态，不正常工作可能会烧坏主机电源。
（4）设备正常测试时严禁打开设备上的参数设置面板和操作控制面板。
