高纯气体色谱仪测试是痕量分析学科的一个分支。它是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展，对高纯气不仅在数量上、质量上、种类上都不断提出新的要求，而且对相应的国家标准、检测理论、方法与检测仪器的研究、研制与生产都提出了更高的要求。“超纯气体”一词是在1964年全国超纯气体测试年会上定义的，即凡气体纯度达5个“9”（99.999%）以上，总杂质为10×10-6VV（即10ppm）以下的气体皆属“超纯气体范畴。
高纯气体色谱仪具有各种性而不可替代。如同时可检测多个组分，分析时间短，操作简便，分析技术灵活多变，价格低，能自动化检测与计算机控制等优点，因而其产品受到广大用户的欢迎。目前用于纯气中杂质气体分析的高纯气体色谱仪检测器有如下几种。
（1）热传导池检测器（TCD）该检测器的指标可以达到ppm级检测。与变温浓缩法配合可以检测到ppb级，例如高纯氢气，超纯氢的检测可以测到0.1ppb（0.1x10-9VV）级。
（2）气敏检测器在检测高纯氮气的国家标准（GB/T8980-1996）中用此检测器可以检测到此0.1ppm杂质氢气。
（3）氢火焰离子化检测器（FID）国家标准（GB/T8984.1-3-1997）气体中一氧化碳、二氧化碳和碳烃化合物的测定是利用火焰离子化法转化后，直接测定，可检测浓度0.1ppm。配合变温浓缩可测到1ppb。
（4）改性离子检测器（M-ArlD）将氩离子化检测器改性后可以检测高纯氩中的氢、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳杂质气，检测浓度可到0.1ppm。
（5）氨离子化检测器（HelD）该检测器大多使用检测高纯氦气中杂质气体，直接检测可到1ppb。也有与切换技术配合检测其它高纯气中杂质气。
（6）电子捕获检测器（ECD）该检测器可以检测高纯氮气、氩气、一氧化碳等气中的痕量氧（ppb级）。另外还有氧化钻检测器、离子迁移检测器等。
