真空泵技术日新月异的发展，原有的真空设备及真空工艺系统已经达不到新的节能、高效与环保排放的要求，特别是工艺溶剂的回收要求。
与水环式真空泵比较
1. 极限真空为3300Pa，无油真空泵真空度更高，达到1Pa，很多水环罗茨机组可以只用一台螺杆真空泵代替。
2. 水作为密封材料，有一定的消耗量。我国北方大部分地区自来水中钙、镁离子(通常以碳酸氢钙/镁和碳酸钙/镁的形势存在，一般称为暂时硬度和硬度)含量比较高，真空泵容易结水垢。 干式螺杆真空泵形成真空不需要用水。
3. 连续工作温升较高，当真空泵温度升高时真空度会相应下降，为了解决温升的问题，系统中需要加装冷冻机组给循环水降温，这首先带来设备成本的增加和功耗的增加，干式螺杆真空泵真空度稳定不受外界条件影响。
与油式机械泵(旋片泵、滑阀泵)比较
1.旋片及滑阀泵极限真空高，一般能达到在0.1Pa,如果工艺极限真空要求较高，可以用干式螺杆真空泵串联一级罗茨泵达到此真空。
2.油式机械泵不能抽含有水汽大及有腐蚀性的介质，否则油容易乳化变质影响真空及寿命。
3.油式机械泵不能抽含粉尘介质，否则会造成泵磨损。由于机械泵属于有摩擦运行，及时抽吸干净气体介质，在运行多年后，各方面配合间隙加大，极限真空会有下降。
4.油式泵的噪音，油烟的排放，真空油的消耗越来不符合环保节能要求。
