面形偏差 surface form deviation

被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。注:在用样板检测的圆形检验范围内,面形偏差是通过垂直位置所观察到的干涉条纹(通称光圈)的数目、形状、变化和颜色来确定

峰谷值 peak-to-valley (PV) value

两面之间的距离减去最小距离，简称 PV 值

条纹间隔单位 unit of fringe spacing

一个条纹间隔的面形偏差等于 1/2 波长

总表面偏差状态 total surface deviation function

实际表面和所期望的理论表面之差所规定的理论表面

近似球面 approximating spherical surface

总面形偏差均方差为最小值的球面

弧矢偏差 sagittal error

近似球面和平面之间的 PV 值

不规则性状态 irregularity function

总面形偏差状态和近似球面之差所规定的理论表面

不规则性 irregularity

不规则性状态与它的平面之间的 PV 值

注:对于个名义上的球面,不规则性表示偏离于这个球面的度;对于一个非球面,不规则性表示总面形偏差态偏离于这个非球面度的部分

RMSt

均方根总偏差，它是被测光学表面与标称理论球面之间的均方根偏差。

RMSi

均方根不规则度，它是被测光学表面与拟合球面之间的均方根偏差

RMSa

均方根不对称性，它是被测光学表面与拟合非球面之间的均方根偏差

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