球面干涉仪（Spherical Interferometer）是一种用于测量光学镜面的曲率半径和表面形状的仪器。球面干涉仪要使用标准球面镜头进行校准，同时配备至少三维调整架，以便对待测的球面进行夹持，并在轴向方向进行微小位移调整。当标准球面和待测样品的焦距满足特定关系，并且待测样品是凹球面或凸球面，其曲率中心与标准球面镜的焦点对准时，可以使用此配置来检测样品的表面形状和不规则性。

对于被测样品为凹球面的情况，干涉仪标准球面镜头的口径并没有特定限制要求，但标准球面的焦距必须等于或小于样品被测面的焦距。只有在满足这个条件时，光束才能覆盖（取样）测量区域，从而进行全口径的测量。

被测样品为凹面时的测量原理图

对于被测样品为凸面时，情况要比被测样品为凹面时复杂得多，选择主要遵循以下几个原则：

被测样品表面的球面半径必须小于主表面的曲率半径。

被测样品的孔径尽量小于所选择的镜头的孔径，如果被测样品的孔径大于所选择的镜头的孔径，则可能出现非全口径测量。

为了节约成本，尽量使选用的镜头的孔径与被测样品的孔径接近。

尽量保证被测件的被测百分比>50%。

这些原则有助于在被测样品为凸面的情况下，选择合适的光学镜头和配置，以实现准确且全口径的测量。

被测样品为凸面时的测量原理图