1. 表面的形状

2. 曲率测试

3. 表面平整度或表粗糙度

4. 玻璃两侧的面是否够平整

5. 角度测试, 有些光学组件是有角度的, 可藉此测量其准度

6. 应力测试, 例如眼镜或相机镜头, 当必须用其他对象夹住玻璃时, 可以测试该玻璃的变形量.

实例 测量表面平整性:

如下图当光源由参考面打到待测物的个面时会反射, 我们看到的是它的差异度, 也因此可以测量出待测面的表面平整度.并由计算机直接判读出正确的数据结果.如果我们拿一张不透光的白纸遮住其中一边的光, 那么被遮住的部分就不会再有光从下方出现, 而只显示出一部份的反射条纹.

第2测量内反射面的平整度:

光源由参考面打到待测物的个面时会反射,但是也可以打进待测物里面, 经由反射的过程再反射回参考面,也就是说, 使用同一个架构可以测量到物体的二面, 那么要知道我们测量的到底是哪一个面? 如果我们拿一张不透光的白纸遮住其中一边的光, 那么被遮住的部份就不会再有光从下方出现, 但会显示出没被遮住的部份反射条纹, 那么所测得的就是表面平整度. 而内反射的光源是由上方打入待测物中, 再经由反射从下方出来, 所以如果我们拿一张不透光的白纸遮住上方的光, 那么就不会再有光从下方出现, 这样就能得知目前所测量的是内反射面平整度了.

第3 是测量内反射面的角度误差:

这是X-cube的侧面图, 理论上都会尽量要求达到接近90度, 所以我们也可以用干涉仪来测量内反射面的角度误差

第4 测量穿透波面的平整度:

光在投影机中必须是穿透的, 如果X-cube有一些瑕疵的话, 显示出来的影像就会不漂亮, 所以就必须测量其穿透波的平整度.
当光源从上方打出来, 透过待测物打到标准反射镜片时, 再反射回去, 如果待测物的放置位置是平整的, 那么每一道光都会循原来的途径反射回去, 可能会分不清楚到底是哪一个面所产生的干涉条纹. 这时可以调整待测物平台的倾斜度, 使部份光不会进到干涉仪中, 那么就可以很清楚的看到干涉条纹了.