激光干涉仪根据不同的光学基础有多种类型的干涉仪产品，但干涉仪因为其原理整体产品有以下优缺点。

高精度。

以光学组件来说, 因为组件的微小变化均会严重改变原有的光学质量，因此必须要有非常精确的测量仪器, 干涉仪具有精度非常高的优点, 可达1/100的波长甚至到1/1000的波长, 波长是指干涉仪中使用光源的波长值.举例来说：一般干涉仪的波长为632.8( nm ),而 632.8的百分之一约为6个(nm) , 目前的纳米科技是在这个尺度, 甚至有些更好的干涉仪可以到0.6个(nm)。

第二. 测量方式为非接触式测量。

另一种测量用的轮廓仪是使用接触式的测量方式, 即使目前已可以微调接触的力量, 但对于表面较脆弱的被测量物是否真的不会造成损害则仍无法确定.而当用干涉仪测量时, 是把光照射到被测量的物体上, 所以干涉仪上的探针也就是光, 并不会对物体表面照成任何伤害

第三 速度快。

使用探针来测量时无法一次测量所有的面积, 而可能必需分很多扫瞄线去测量, 相对来说, 干涉仪的测量速度就非常快了, 可能几秒钟就测完了, 而不需要等待几个小时的时间.

第四 干涉仪的缺点，使用门槛高。

一个操作员在会使用干涉仪却不太清楚干涉仪的使用限制、条件及原理的时候, 可能会测量到不是他所要的东西, 而且, 因为干涉仪是用光线测量, 在调整上也会花费多的时间, 可能测量结果只要花几秒钟, 但事前的调整却要花费几十分钟甚至数个小时.