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膜厚测试仪技术参数

2025年09月23日 09:13:46      来源:江苏天瑞仪器股份有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:9

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 产品介绍:
EDX 2000A全自动微区膜厚测试仪是天瑞仪器股份有限公司集多年X荧光膜厚测量技术,研发的一款上照式膜厚测试仪。相比于传统的镀层测厚设备,不仅在常规的传统电镀上表现更加显现,更能很好地满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。仪器外观简洁大方,通过自动化的X轴丫轴Z轴的三维移动,双激光定位和保护系统,实现对平面、凹凸、拐角、弧面等各种简单及复杂形态的样品进行快速对焦准确分析。

采用高分辨率的FAST SDD探测器,高达140ev分辨率,能准确地解析每个元素的特征信号,针对复杂底材以及多层复杂镀层,优势巨大。高功率大高压单元搭配大功率X光管,能很好的保障信号输出与激发的稳定性,同时,故障率也大的降低。高精度自动化的X轴,Y轴以及Z轴的三维联动,更准确快速地完成对微小异型(如弧形、拱形、螺纹、球面等)测试点的定位。

设计亮点

上照式设计,可适应更多异型微小样品的测试。

新颖的光路,更短的光程,相较传统光路,信号采集效率提 2倍以上。

可变焦高精摄像头,搭配距离补正系统,不仅可适应微小产品,同时也兼顾了台阶,深槽,沉孔样品的测试需求。

可编程多点测试,能自动完成对多个样品多个点的测试,大大提高测样效率。

自带数据校对系统,让您永远不再为数据突然变化而担心。


软件界面

人性化的软件界面,让操作变得更加便捷。 曲线的中文备注,让您的操作更易上手。仪器硬件功能的实时监控,让您的使用更加放心。



检测实例


 

原创作者:江苏天瑞仪器股份有限公司

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