X-射线荧光光谱：作为一种比较分析技术，在较严格的条件下用一束X射线或低能光线照射样品材料，致使样品发射特征X射线。这些特征X射线的能量对应于各特定元素，样品中元素的浓度直接决定射线的强度。该发射特征X射线的过程称为X射线荧光或XRF.

X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)

一台典型的XRF仪器的核心硬件包括X射线源与X射线探测器及多通道数字脉冲处理器。其中X射线源是提供激发样品特征X射线的光源， X射线探测器检测X射线光子的装置，并能把它的能量按照光子的振幅比例来转化为具有电子能量的脉冲，而多通道数字脉冲处理器则能够将探测器转化来的脉冲信号进行处理，从而得到X射线的能谱图。

日立X射线荧光光谱仪EA1000AIII通过将可选项的精度管理型软件进一步升级,并使之成为标准配备，实现了低价格化。与以往仪器相比，环境管制物质的测量时间大幅缩短，材料辨识功能、分析线切换功能、清晰易懂的操作面板……易用性大大提高，分析速度更快，操作更简单。