江崎推荐OHKURA大仓质量流量控制器MF1100B
特征
*小范围为5 SCCM，*大范围为20 SLM
紧凑尺寸
标准软启动功能
*小泄漏量为1.013×10-10Pa·m3
范围(注1) 15个范围，参见范围表
容量不适用2至100 % F.S
精度*大为2 % F.S.。*大1.5 % F.S .*大2 % F.S .*大1.5 % F.S .
线性度1 % F.S .*大值。*大0.7 % F.S .*大1 % F.S .*大0.7 % F.S .
重复性*大为0.2 % F.S .*大0.2 % F.S .*大0.2 % F.S .*大0.2 % F.S .
凝固时间*长3秒。达到设定值的2 %以内
管线压力*大1.0 MPa。
*大过压1.5 MPa。
水头损失*大5.0 kPa不适用
压差不适用5至5，000 SCCM : 34至275千帕
10至20平方公里:64至275千帕
工作温度范围为5至45°C(包括样气温度)
*大温度稳定性0.1 % /癈F.S。在工作温度范围内(标准)
泄漏1.013×10-9帕米3/s(他)max。(标准)

OHKURA大仓质量流量控制器MF1100B

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