在I（V）光谱法（或电流成像隧道光谱法，CITS）中，在固定的I _o和V _o下获取正常的地形图像。在图像反馈环路的每个点处中断，并将偏置电压设置为一系列电压V _i，并记录隧穿电流I i。然后，电压返回到V _o，反馈环路重新打开。每个IV谱图都可以在几毫秒内获得，因此位置没有明显的漂移。该过程除了地形图图像z（x，y）|之外，还在每个电压V _i上生成完整的电流图像I _i（x，y）|。_{V o I o}。

CITS数据可用于计算电流差图像DI _{V i V j}（x，y），其中V _i和V _j包围特定的表面状态，从而产生原子分辨的表面状态的真实空间图像。例如，可以在UHV中使用此技术来对填充的原子状态或悬空键状态进行成像，以进行硅重建。

References

1. G. Binnig and H. Rohrer: Surf. Sci. 126 (1983) 236. Rep. Prog. Phys. 55, 1165-1240 (1992).