扫描近场光学显微镜概述

经典光学显微镜的分辨能力受到阿贝衍射极限的限制，约为光学波长的一半。但是，可以克服此限制。

如果在靠近物体的位置扫描金属板上的亚波长孔，则可以通过穿过该孔的检测光建立超分辨图像。基于这一原理的扫描近场显微镜是由Synge [ 1 ] 提出的，并由Ash和Nicholls [ 2 ] 在微波频率上进行了演示，其分辨率为1/60 [ 3 ]。Pohl等[ 3，4 ] 在可见波长下证明了这一原理（光学，近场光学扫描显微镜，SNOM）。在[ 5] Betzig等人已经证明了使用光纤探针对具有多种不同对比机制的各种样品成像。

为了使系统更易于使用，并将其适用性扩展到任意形貌的样品，具有一种距离调节机构，该机构能够自动执行初始进近并在整个过程中将孔径保持在距样品固定距离的位置。扫描。先前已经为SNOM和相关的渐逝场技术提出了几种机制，包括电子隧穿，电容，光子隧穿和近场反射。

目前，的探针-样品距离调节方法依赖于检测近场探针末端与样品之间的剪切力[ 5 ]。基于剪切力的系统允许单独使用剪切力显微镜，或同时进行剪切力和近场成像，包括用于透明样品的透射模式，用于不透明样品的反射模式和用于样品其他表征的发光模式。

References

1. Philos. Mag. 6, 356 (1928).

2. Nature (London) 237, 510 (1972).

3. Appl. Phys. Lett. 44, 651 (1984).

4. J. Appl. Phys. 59, 3318 (1986).

5. Appl. Phys. Lett. 60, 2484 (1992).