原子力显微镜（AFAM）的基本思想是，当与样品接触时，将原子力显微镜的悬臂激发成弯曲振动[1，2]。悬臂的本征模式的频率，除其他参数外，还取决于样品接触的刚度和接触半径，而这两者都是样品和（）的杨氏模量的函数半径，施加的载荷以及表面的几何形状。这种技术允许从接触刚度以几十纳米的分辨率确定杨氏模量。

如在AFAM测量下的动画所示，样品耦合到压电换能器。它会向样品中发射声波，从而引起样品表面的平面外振动。表面振动通过传感器传递到悬臂梁中。悬臂振动通过4节光电二极管测量，并通过锁定放大器进行评估。此设置可用于获取声像-共振附近的固定激励频率上的悬臂振幅图（AFAM成像）。恒定力模式地形图图像与声学图像同时采集。AFAM图像显示了样品表面的弹性分布。此设置也可以用于获取悬臂振动光谱-AFAM接触共振光谱（CRS）。通过使用AFAM CRS可以确定杨氏模数[3，4]。

References

1. US Pat. 5675075.
2. US Pat. 5852233.
3. Rev. Sci. Instrum 67, 3281 (1996).
4. J. Appl. Phys. 82, 966 (1997).