真空泵与油泵相比真空度低，抽气量小，但体积细巧，易于设备，保护简略，移动便利，不发生油烟，不污染环境，尤其在要求较高的实验室运用较好，也是实验室常备的设备之一，因此在选购无油真空泵时要先确认要求作业的真空度，假如需求的真度高。

真空泵

    而选的真空泵就要高于需求的真空度，不然达不到抽真空的要求，就会达不到作业要求，其次是无油真空泵抽气速率，选型时就要稍大于所需求的抽气速率，这样就能的满足需要，后看抽取的气体有无腐蚀性，有腐蚀的气体会腐蚀泵，在高真空范畴运用早的真空泵机组，油分散泵是用低压、高速定向运动的油蒸汽喷射向被抽气体中，带动气体往下运动，将被抽气体带向排气口，然后到达抽气口的，油分散泵的抽速规模很大，从每秒几十到几十万升，极限真空为10-4次方~10-8次方。


    在10-2次方~10-4次方Pa的真空规模内具有稳定的抽气速率，油分散泵是高真空获取的重要抽气设备，遍及应用于真空镀膜、冶金等行业，油分散泵之所以被广泛运用，是因为它结构简略，价格低廉，对被抽气体无选择性，极限真空度高，没有机械传动及摩擦，维修便利，缺陷是容易发生油蒸汽返流，造成真空室油污染；启动时间长；功率大，比较耗电，分散泵的返油使它在对真空洁净程度要求较高的真空体系的运用中受限，为了处理这个问题，通常在真空室与真空机组的主泵进口之间的管道中设备冷阱、挡板，可以有效地抽除来自真空室的冷凝蒸气和来自蒸气流泵的返流油蒸气。