如何给涡轮分子泵充气（分子泵维修）

 (1)如何给涡轮分子泵充气（分子泵维修）-为什么要充气？      

      当涡轮分子泵关闭或运转极慢时，泵将不再有足够大的压缩比（泵内压力梯度）来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下，整个系统的压力均衡时，在前级管道侧，油的分压力通常为10-4～10-6Torr（或 13.33mPa～133.3μPa）*后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时，适当地给泵内充气是控制油分子返流，保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。     

当停泵后，碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内，如果系统仍保持在真空状态下，碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时，将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面，在涡轮分子泵停止运转时，如果给泵充入干燥氮气或干燥空气，则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层，而且在系统充气后，返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来，从而它的粘着能力很弱，在混合气体中碳氢化合物所占比例极小，在下一次抽空时也很快就能被抽走。    

   (2)如何给涡轮分子泵充气（分子泵维修）-延迟充气：     

 虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受，且很平常，但是，涡轮分子泵在切断电源后，泵要渐渐地减速，若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。在泵减速到它平时速度的30%～50%期间，此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭，在经常停电的情况下，延迟充气是很有用的。为了延迟充气，前级真空必须维持在 1～1000μmHg（1×10-3mmHg~1mmHg或133.3mPa～133.3Pa）范围之内，所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀，或者在前级泵内部装一个控制阀，该阀应在电源中断时，使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。否则，通过前级泵、前级管道被充气，并导致了油的污染。      

 (3)如何给涡轮分子泵充气（分子泵维修）-在何处充气？      

在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体覆盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵（自上而下），能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。 

 (4)如何给涡轮分子泵充气（分子泵维修）-怎样充气？     

 如果涡轮分子泵置于一个清洁、干燥的周围环境中，就可以充室内的空气。然而充气入口的位置必须仔细选择。如果充气入口位置靠近油封式旋片泵的排气口位置之上，则充入的气体中会含有油蒸汽势必会对真空系统造成污染，而且如果空气是湿的，为了减少以后再抽气的时间，于是要充入干燥氮气或经过干燥器过滤的空气。另外也不一定总是充入大气压力下的气体，若充入气体的压力为几Torr（几hpa）的干燥气体就足以能控制碳氢化合物的返流。

Q1：为什么要给涡轮分子泵充气？

A1：当涡轮分子泵关闭或运转极慢时，适当地给泵内充气是控制油分子返流，保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。

Q2：涡轮分子泵在切断电源后，何时充气效果更好？

A2：涡轮分子泵在切断电源后，延迟几秒或几分钟再充气会更好一些，在泵减速到它平时速度的30%～50%期间充气。

Q3：在涡轮分子泵的哪个部位充气能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室？

A3：在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。

Q4：如果涡轮分子泵置于一个清洁、干燥的周围环境中，充气时需要注意什么？

A4：充气入口的位置必须仔细选择，不能靠近油封式旋片泵的排气口位置之上，否则充入的气体中会含有油蒸汽对真空系统造成污染。

Q5：在超高真空系统中，哪种充气方式尤其有效且不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀？

A5：在压缩级之间进行中间充气尤其有效，且不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。

此信息来自-深圳市金华杰电子有限公司-作者： 深圳市金华杰电子有限公司集二十年丰富的研发、设计及生产经验，公司拥有一批专业从事生产、销售及维修的技术人员，可***多途径为国内外光学镀膜行业，光盘行业，光磁存储行业，半导体生产行业，平板及光电显示器行业，分析仪器及科研行业,真空工业应用等行业提供**服务。