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莱宝涡轮分子泵运转时值得注意的返流问题

2026年07月24日 12:47:52      来源:深圳市金华杰电子有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:28

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                                    莱宝涡轮分子泵运转时值得注意的返流问题


      涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力,故常被用户选用。然而,用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源,50%是操作失误所带来的问题,如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时,没有控制返流的**阀,不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流,不合要求的**阀也会引起油污染。

 

 

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