耐高压接近传感器原理

 　　耐高压接近传感器是应用适合广泛的传感器之一。传统的压力传感器主要是基于机械结构，并将弹性体的变形转化为相应的压电效应。随着半导体技术和微电子技术的发展，压力传感器的性能得到了很大的提高，不仅体积小、质量轻、功耗小、精度高、稳定性好、可靠性高，大大拓展了应用市场。高温压力传感器主要用于解决高温环境下气体和液体压力的测量，在锅炉和管道中得到广泛应用。信号激励与信号处理由计算机完成。

　　现在，耐高压接近传感器与传统的压阻式压力传感器相比，半导体电容式压力传感器具有灵敏度高、温度稳定性好，功耗低，而且只对压力敏感，应力不敏感。因此，电容式压力传感器在许多领域都得到了广泛的应用。介绍了高温压力传感器的生产工艺。

　　耐高压接近传感器的传感元件是一种半导体薄膜，它主要由单晶硅和多晶硅组成。典型的电容传感器结构由上下电极、绝缘体和衬底组成。当薄膜在压力下，它会变形，从而导致上下电极之间的距离变化，从而使电容变化。但电容和上下电极之间的距离的变化是非线性的。因此，使用补偿电路补偿。