Phenom ProX是第五代电镜能谱一体机，是的集成化成像分析系统，分辨率提升 20%，进一步增加应用范围，更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是集成设计在飞纳 Phenom ProX 系统中。Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
| Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL | |
| 光学放大 | 20 - 135 X | 20 - 135 X | 3 - 16 X |
| 电子光学放大 | 80 - 150,000 X | 80 - 150,000 X | 80 - 100,000 X |
| 分辨率 | 优于 8 nm | 优于 8 nm | 优于 14 nm |
| 数字放大 | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
| 光学导航相机 | 彩色 | 彩色 | 彩色 |
| 加速电压 | 5 Kv - 15 Kv 连续可调 | 5 Kv - 15 Kv 连续可调 | 5 Kv - 20 Kv 连续可调 |
| 真空模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 | 高分辨率模式 |
| 降低荷电效应模式 | 降低荷电效应模式 | 降低荷电效应模式 | |
| 高真空模式 | |||
| 探测器 | 背散射电子探测器 | 背散射电子探测器 | 背散射电子探测器 |
| 二次电子探测器 (选配) | 二次电子探测器 (选配) | 二次电子探测器 (选配) | |
| 样品尺寸 | 大直径 32 mm (Ø) | 大直径 32 mm (Ø) | 大 100 mm X 100 mm |
| 可同时装载 36 个 0.5 英寸样品台 | |||
| 样品高度 | 高 100 mm | 高 100 mm | 高 65 mm |
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