伯东 KRI 霍尔离子源 eH 1000 特性:
1.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
2.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
3.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便; 无需水冷
4.高效的等离子转换和稳定的功率控制
伯东企业（上海）有限公司
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伯东KRI霍尔离子源eH1000特性:1
伯东 KRI 霍尔离子源 eH 1000 特性:
1.可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
2.宽波束高放电电流 - 高电流密度; 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
3.多用途 - 适用于 Load lock / 超高真空系统; 安装方便; 无需水冷
4.高效的等离子转换和稳定的功率控制
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