上海伯东德国普发 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在1400-2800l/s的磁悬浮涡轮分子泵. ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体/ 镀膜和离子刻蚀等行业.
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上海伯东德国普发 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在1400-2800l/s的磁悬浮涡轮分子泵. ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体/ 镀膜和离子刻蚀等行业.
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