测试原理:
将灭弧室的两触头拉开一定的开距,施加脉冲高压,与残余气体分子发生碰撞电离,所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管,在同等真空度条件下,离子电流的大小也不相同,当测知离子电流后,通过离子电流一真空度曲线,由计算机自动完成真空度的计算,并显示真空度值。
技术参数:
1.真空度测试仪测量范围: 9.999×10-1~1×10-5
2.离子电流测量范围: 9.999×10-1~1×10-7
3.测 量 误 差: <5%
4.测 量 分 辨 率: 10-5pa
5.允许环境温度: -20℃~50℃
6.空 气 湿 度: ≤80%RH
7.电 源: AC,220V,50Hz±10%
8.外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9.高 压 输 出: 脉冲≤30kV15kHz
⒑重 量: 8kg
硬件构造:
硬件大致分为四部分
1、CPU主控单元
该部分用于接收用户指令,控制显示器进行各种显示,产生高压单元所需的脉冲信号,及对磁控电流控制单元发出各种控制指令,负责整个测量过程的精确时序控制,该单元是整个系统的主体。
2、高压控制板
高压部分将控制部分送来的具有一定占空比的信号进行功率放大,驱动高压变压器,从而产生测量所需的高压。
3、按键与显示板
按键部分用于用户指令,操纵按键使仪器处于不同的工作状态。
显示部分用于显示系统的各种参数。
4、打印机
用于打印输出所测量的参数,打印结果如下所示:
TESTED BUIC-Ⅲ TESTED BYUC-Ⅲ
PRESSURE:3.260E-5Pa CURRENT:2.621E-6A
(真空度值) (漏电流值)
TUBE NO: (管编号) TUBE NO: (管编号)
TUBE TYPE:(管型) TUBE TYPE:(管型)
DATE: (日期) DATE: (日期)
TEST REPORT TEST REPORT
(检验记录) (检验记录)
注意事项:
1、该仪器属精密仪器,电路板布线密度较大,一般要求存放于较干燥的地方。若环境较潮湿,则应经常通电。
2、若测试后真空度值显示为零,应检查灭弧室表面是否清洁。因为表面不清洁可能使漏电的变化值大于电离电流值,这样,测量值减去漏电后小于零,而被仪器判为零。发生这种情况后,将灭弧室表面檫干净,再做试验,一般来说这样得到的真空度值较精确。
3、使用时,高压输出线不得触及人体,以防触电。
4、高压指示灯亮时,不要触及高压线,以防触电。
5、拆装打印纸在仪器先断电的情况下进行,以免损坏打印机。换纸时,将前面板打开,用食指和拇指捏紧打印机两端的两夹片轻轻拖出打印机,使出纸口略高于仪器面板,但不能拖出距离太大,将新纸端口部分剪成尖头状,插入打印机的进纸口,打开仪器电源开关,按下打印键,使纸从打印机的上端走出一段距离,插入面板出口缝导出。盖好打印机面板,装纸完毕。
6、本仪器无任何用户可维修的部件,如出现故障,请专业人员维修,或与供应商联系,切勿擅自打开仪器,以免发生意外或造成不必要的损失。
7、本仪器真空度测量范围在9.999×10-1~1×10-5之间,离子电流测量范围在9.999×10-1~1×10-7之间,当真空管的真空度大于10-2 Pa或离子电流大于500uA时建议该真空管报废。
8、若真空管内压力等于大气压(即真空管破损),本仪器测量范围内, 本仪器则拒绝检测,返回初始状态。
(注:击穿后,仪器有可能出现显示不正常,此时,从新开机后仪器回到正常状态,本仪器切勿超常时间工作。)
关键词:真空度测试仪设备/真空度测试仪设备
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