X荧光光谱仪是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法的仪器，同时对产品和材料质量进行无损检测，是产品分析和过程控制分析等方面的仪器之一。
在吸收紫外和可见电磁辐射的过程中，分子被激发到激发电子态。大多数分子通过与其他分子碰撞，以热的形式释放出这部分能量。有些分子以光的形式释放这部分能量。发射光的波长与吸收光的波长不同。
后一种过程称为光致发光。分子发光包括荧光、磷光、化学发光、生物发光和散射光谱。基于化合物荧光测量的分析方法称为分子荧光光谱法。光源发出的光由光斩波器变为间歇光，由激发单色仪变为单色光，即荧光物质的激发光。
荧光物质在激发光下发出的荧光经单色仪转换为单色荧光，然后照射在光电倍增管上。单色仪产生的光电流被放大器放大并传输到记录器。一次激发一次发射。用双单色仪系统可分别测量激发光谱和荧光光谱。
