烧结炉是指使粉末压坯经过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完结铝背场及栅线烧结。

　　负压脱脂是一边流量计往炉内充气体，一边滑阀泵抽，在升温中运用气流来把粘结剂从产品中脱除。真空内烧是不充气体，滑阀泵一直抽，炉体升温，在真空中烧结。分压烧结时充入气体维持一定的压力，炉体升温，在分压中烧结。强制冷却是快速充入气体，风机打开，运用气体在炉内循环，经过冷却水把热量带走。

　　为了确保粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需求对烧结温度、维护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行准确的控制。

　　因此，烧结炉在结构上应满意以下要求：具有完善的润滑剂烧除设备（俗称脱蜡带）。具有气密性，即能阻隔炉外空气并确保炉内维护气氛畅通。炉内的各段温度可控，烧结气氛可调具有快速冷却设备，可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。