通常，根据所研究样品的类型和所需信息的种类，电动显微镜（EFM）可以以多种模式使用。其中用的是基于两次通过技术的非接触EFM模式。在第二遍过程中，悬臂以谐振频率被压电驱动，并且悬臂被直流电压V接地或偏置。

电容性样本电力（或更确切地说，其导数）导致谐振频率偏移。因此，悬臂振动的振幅减小，并且振动的相位发生变化[ 1 ]。可以测量振荡偏差的振幅和（或）相位，并且可以对样品表面上的电势分布进行成像。

相对于扫描开尔文显微镜（SKM）。所记录的幅度或相位偏差图像由电容式样本电动势导数确定，例如样本容量的二阶导数。结果，非接触式EFM导致更高的分辨率，因为侧面和悬臂的平坦部分的寄生电容与顶点的有用电容之比应最小化[ 2,3 ]。

References

1. J. Appl. Phys. 61, 4723 (1987).
2. Appl. Phys. Lett. 52, 1103 (1988).
3. Nanotechnology 12, 485 (2001).