高纯气是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的专业学科，气体纯度分析采用扣除杂质的差减法计算，气体纯度分析实际是对气体中微量或者痕量的气体检测。高纯气包括：高纯H2, O2, N2, CO, CO2 等性气体；高纯He, Ne, Ar, Kr, Xe,等稀有气体；高纯Cl2, H2S, NH3, PH3, SiH4 等特种气体。通常气体纯度5个“9”(99.999%)以上，总杂质下于10×10-6V/V(10ppm)称为高纯气，6个“9”(99.9999%)以上称为超高纯气。随着我国经济的高速发展，石油化工生产，半导体工业，环境分析和科学研究等对高纯气不仅在数量上、质量上、种类上都不断提出新的要求，气体纯度越来越高。

气相色谱仪器被广泛地应用气体检测，常用的有几下几种检测器。热导池检测器TCD，结构简单、性能稳定、线性范围宽，适合检测限大于100ppm 的气体；氢火焰离子检测器FID，灵敏度高、响应快、线性宽、操作简单，对碳烃类化合物检测灵敏度高，对无极气体CO, CO2，通过镍触媒转化CH4，也能有很好的响应，但对其他无极气体无响应；火焰光度检测器FPD，选择性检测器，只对含硫和磷有机化合物有很高的灵敏度，如H2S；电子捕获检测器ECD，选择性检测器，只对具有电负性的物质有很高的灵敏度，如N2O；脉冲氦离子化检测器PDHID和介质阻挡放电氦等离子体检测器BID，灵敏度高，性能稳定，其能放出高能光
子能量(17.7eV)，可以离子化除Ne和载气He外的全部化合物，为通用型检测器，是检测分析微量或者痕量气体的利器。

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