高温质量流量控制计5850EMH系列

可满足高温苛刻条件应用需求的高纯度流路

        现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的高温金属封装热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。

关键应用

• 光纤制造 - MCVD

• 硅材料半导体器件加工工艺

1. CVD（蒸汽形式的前体输送）

2. 剥落（水蒸气）

3. 腐蚀（水蒸气钝化）

页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性，高温应用中超高纯表现

型号 5850EMH / 5851EMH

        来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了的性能，具有多种选择，允许的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

特点

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

• 宽流速范围（0.003 - 100 slpm）

• 高纯度 VAR 316L 不锈钢

• 无磨粒

• 氦泄漏检查端口

• 常闭阀（可选常开阀）

• 电致动阀复位

• 低命令流量断流

• TTL 兼容"关阀"功能

优势

• 稳定、可靠的产品平台

• 高流量，高达 100 lpm（N2 当量）

• 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏

• 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

• 光纤制造——MCVD，OVD，AVD

• 水汽流量控制

型号

规格

性能

机械

等级

电气