压力不敏感质量流量模块

这种的压力不敏感质量流量模块安装有压差检测和压电执行器阀。

CRITERION D500 提供的高水平性能确保它可用于一系列的半导体制造工艺；压力不敏感，多范围/多气体/多压力，G-LIFE（集成限流器方程的气体定律检查）自诊断功能，高精度，快速响应，范围广，全金属。 

特征

• 压力不敏感性
  能 新的高性能压力不敏感功能提供了简化的供气系统

• 多量程、多气体、多压力解决方案
  新功能允许用户更改气体类型、满量程流量和供应压力范围

• G-LIFE（集成流量限制器方程的气体定律检查）自诊断功能
  的过程健康监测功能允许操作员进行自己的测试，通常在三秒或更短的时间内提高吞吐量

• 高精度
  通过的三维调整提高了工艺气体的流量精度

• 快速响应
  响应：<0.8秒
  可实现精确、稳定的流量控制 

• 动态范围
  宽控制范围：0.2% FS 至 99% FS

需要咨询产品价格、货期、购买产品、技术参数规格索取、技术及产品调试咨询、商务合作请联系我们。客服热线：