多范围/多气体数字质量流量控制器

这是 HORIBA 的数字质量流量控制器型号。它具有多范围/多气体功能，使用户能够在现场快速、轻松地更改气体类型或满量程流量。
凭借高精度 +/- 1.0% SP、压电执行器阀、高速响应和全金属，该质量流量控制器适用于提高过程产量和简化零件管理。数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信均可用。

特征

• 高精度 ±1.0% SP
  该质量流量控制器的线性由多项式近似曲线补偿，并在所有流量控制范围内实现高精度。为了提高实际气体精度，各种工艺气体的校准数据均采用HORIBA STEC的标准气体测量系统进行测量。

• 高速响应
  搭载“可变PID系统"，可在任意两个设定点之间实现1秒响应。可变 PID 根据流量点设置不断变化。这允许在满量程流量和气体发生变化时优化 PID 因子。

• 多气体/多范围解决方案
  配置软件可以快速轻松地更改规格。一个关键特征是无需从气体面板或管道上拆下质量流量控制器即可进行更改。这减少了所需的备用质量流量控制器的数量；节省时间和成本。

• 质量流量控制器 SEC-Z500X 适用于各种应用以及半导体制造。

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