高速精密压力不敏感质量流量模块
关键的半导体制造工艺不断需要精密的气流控制设备，以实现未来的创新，以及前沿存储器和逻辑设备从实验室到工厂的转变。HORIBA 提出了新的基于压力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上层兼容型号，以支持客户的挑战。
特征
工具上气体和满量程配置更改 *仅 EtherCAT
为流程优化提供灵活性
100ms 升压响应和 MFC 到 MFC 偏差控制
提供高生产率和更好的过程性能
小流量的 MRMG 功能 (Bin101 – Bin105)
为需要小流量的过程提供灵活性
PFA 喷嘴更好的阀门关闭和耐腐蚀性
具有较低颗粒风险的稳健性可减少停机时间并优化产量
状态监控功能
为更智能的故障预测提供更多内部数据
状态监视功能的输出项目
流量/压力调零计数 |
阀门驱动计数 |
/最小P0,P1,P2压力记录 |
/最小块温度记录 |
超过/低于压力规格的总时间。 |
超过/低于温度规格的总时间。 |
总工作时间 |
总控制时间 |
总流动时间（每个校准实例） |
总流量（每个校准实例） |
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