金属密封热式质量流量控制器GF100 系列

纯度气路。超高精确，无污染的控制。

        现今许多高级电子元器件的加工工艺都需要能够对昂贵的超纯气体和液态前体进行相当准确并且具有高度可重现性的测定和控制。因此，布鲁克斯仪器推出了自家的革命性金属密封热质量流量控制器和仪表来满足上述需求。该产品将稳定性和准确性超高的测量传感器与快速、精准的控制阀以及功能强大的电子元件相结合共同实现了精准的化学品控制。高完整性（无泄漏）的超高纯度全金属流路可确保过程化学品纯度，该流路专为防止外部污染（如湿气和氧气）腐蚀过程媒介而设计。

关键应用

• 硅材料半导体器件制造工艺 – 蚀刻、剥膜、CVD、ALD、PVD、Epi、扩散、植入和 RTP

• 化合物半导体器件加工工艺 – MOCVD

• 精密的表面涂层

• 分析系统

• 真空处理应用

选择自身工艺需求的质量流量设备。

高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。

型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

        GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果：提高工艺灵活性和效率辅以业内纯度的过程气体，有助于限度提高产率和生产效率。

型号

规格

性能

机械

等级

诊断和显示

电气

承诺