产品概述：
四路高温真空CVD设备由滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ，温度可以达到1200度，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计，可以对多种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部。 KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率可达100°C/m。为取得加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的理想炉子。
适用范围：
四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的理想产品。
标准配件：
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| 气炼石英炉管×1 | 浮子混气系统×1 | 真空系统×1 |
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| 高温手套×1 | 坩埚钳×1 | 热电偶×1 |
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| 刚玉坩埚×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
注：炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型
| 产品名称 | 四路高温真空CVD设备 |
| 产品型号 | PT-T1200-S60K-4C |
| 工作温度 | 1100℃(可选) |
| 温度 | 1200℃（可选1700℃） |
| 加热 区 | 三温区（可定制） |
| 加热区长度 | 200+350+200mm（可根据需求定制） |
| 加热速率 | 建议：0- 10°C/min {：0-20℃/min} |
| 温控精度 | ±1℃（具有超温及断偶报警功能） |
| 加热元件 | 掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其延长使用寿命） |
| 加热速率 | 0~20 ℃ / 分 |
| 工作电压 | 220V，50HZ，单相 |
| 功 率 | 4KW |
| 控温方式 | 智能化30段可编程控制（用户可选配液晶触摸屏显示） |
| 质子流量计 | 4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制。 MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2范围: 0~200 sccm MFC 3范围: 0~200 sccm MFC 4范围: 0~500 sccm 。 |
| 电气认证 | CE认证 |
| 售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
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