| 部分：标准件加热 | |||
| 管式炉 | |||
| 显示 | LED显示屏（电脑控制） | ||
| 极限温度 | 1200 | ||
| 连续温度 | ≤1100℃ | ||
| 温区 | 150*200*150mm（3区） 独立温控 | ||
| 热电偶 | K型 | ||
| 温度精度 | ±1℃ | ||
| 管尺寸 | 160x 1000mm (OD x minimum L) 150mm(ID±2mm) 厚度 5mm | ||
| 材质：石英管 | |||
| 温度控制 | 通过 SCR 功率 控制进行PID 自动控制 | ||
| 加热曲线 | 30步可编程 | ||
| 安全元件 | 过温报警 过流保护 开门时断电 热电偶断线指示 | ||
| 真空法兰 | 一侧为带阀门的不锈钢水冷真空法兰，另一侧为水冷铰链式真空法兰。 包括气动开关阀，与 PSV 和 MFC 相连（当压力超过 1 bar 时，MFC 和炉子都应关闭，PSV 释放 高压。 | ||
| 三通阀 | 一个用于 KF25 真空阀 第二个用于 1/8” 阀门 第三个用于 1/2” 阀门（到鼓泡器） | ||
| 电源供应 | 380V 50/60Hz 三相 | ||
| 输出功率 | 基于最终设计 | ||
| 第二部分 真空泵系统 | ||
| 真空泵 | VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+挡板阀 真空度：-0.1mpa(相对压力) | |
| 第 3 部分 4 路质量流量计 | ||
| 4路质量流量计（电脑控制） | 四个精密质量流量计： MFC1: 0 to 2000 sccm, Accuracy ±-1.5%FS H2 MFC2: 0 to 2000 sccm Accuracy ±-1.5%FS CO2 MFC3: 0 to 2000sccm Accuracy ±-1.5%FS CH4 MFC4: 0 to 200 sccm 精度 ±-1.5%FS Ar4 不锈钢针阀安装在底壳左侧，用于手动控制 4 种气体混合 MFC 可在计算机上控制。 混合气体在流入炉管前会被预热到100-200C。 SS 螺旋管 | |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。