高温真空CVD管式炉是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的理想产品。
技术参数：
| 套管 | *双层钢制外壳，带风冷。 *炉壳<= 60℃ |
| 加工管 | *材料：熔融石英管（外径80 mm X长1000 mm，带SS法兰） |
| 工作温度 | *加热温度：1200°C *连续工作温度：1100°C |
| 升温速率 | 升温速度：1-10°C / min |
| 加热区长度 | *总加热区：440 mm *恒定温度 区域：150毫米（±1°C） |
| 温度控制 | * LCD触摸屏 *温度精度：±1°C *热电偶：炉内内置K型 |
| 真空面 | 一对不锈钢真空法兰（气体和真空侧），带有： *一个机械压力表（与MFC系统兼容） *两个针阀（1/4英寸） *一个KF-25连接器，KF-25真空截止阀，KF-25 SS真空波纹管，带橡胶O形圈的KF-25快速夹具，用于KF-25法兰的可调法兰支架（左右两侧-2个）等，用于高真空工位 |
| 高真空站结构 | *限度。负载：顶部100磅 *高真空站控制面板（基本用于分子泵的速度和真空度）： *内部：涡轮分子真空泵站 ＃涡轮泵与后备泵，干式泵和石英管之间的所有连接，接头和阀门符合KF-25连接规范的部分 |
| 真空度 | 6.7 * 10-3pa（在正常条件下） |
| 气体流量控制结构 | * 3个通道： ＃Controller-1：1-100 sccm ＃Controller-2：1-200 sccm ＃Controller-3：1-500 sccm *工作电压：AC 220 V / 50 Hz * 7英寸彩色触摸屏控件， *包括机械压力表，针形阀，气体管道，气体混合罐，截止阀和配件等 *由316不锈钢制成 |
| 系统总功耗 | 5千瓦 |
| 整个系统的额定电压 | AC 220 V，单相，50 Hz |
| 定制的真空法兰，带有三个进料口，气阀和机械压力表 | 兼容80毫米石英管（以上系统），三个热电偶穿通管（K型TC）-仅用于石英管内恒温区的中心和两端（用于PID / TC和实际常数之间的温度校准）区域温度）。在正常过程中将不使用本机。 特征： *由304不锈钢制成，带有双重高温硅胶O形圈。 *法兰上安装了三通，一阀和一机械表。 *穿通孔适用于带K型电缆插头的K型热电偶的1/4“ OD外径钢管。 * 1/4”的管件用于在阀上连接额外的气体入口或出口。 *组装套件将密封外径为80 mm的石英管。 |
| K型热电偶 | 由3个校准热电偶测得的温度将直接显示在管式炉的LCD触摸屏上。 |
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