化学气相沉积设备由2或3.14O.D可选分流管炉，带气体混合罐的4通道精密质量流量计和高质量机械泵组成。
这款化学气相沉积金刚石机器CVD炉是沉积薄膜或将纳米线从气态（蒸气）变成固态的理想且价格合理的工具，其优点是：
1.与常规CVD相比，温度处理更低。
2.膜应力可以通过高频/低频混合技术来控制。
3.通过工艺条件控制化学计量。
4.提供广泛的材料沉积，包括SiOx，SiNx，SiOxNy和非晶硅（a-Si：H）沉积。
1.炉膛采用进口氧化铝多晶纤维，有效隔热 ，节能；
2.进口加热元件，大大提高其使用寿命，高密度进口氧化铝管子，经久耐用，不易折断；
3.预留真空，气路快速接口，可配合我们的真空系统或混合系统使用；
4.超温报警及停电，漏电保护，运行安全可靠。
5.根据您的要求提供智能的空气泄漏测试仪/气体泄漏报警系统。
化学气相沉积应用：
这款化学气相沉积金刚石机器CVD炉广泛用于1200℃下各种CVD实验反应温度，也可用于真空烧结，真空保护气氛烧结纳米材料制备，电池材料制备等研究领域。
| 分体式炉
| 输入功率：208 – 240V AC，1.2kW
1700°C 工作温度<60分钟
1600°C连续加热
高纯度石英管2“ OD x 1.7” ID x 39.4“长度
30段可编程精密数字温度控制器 8英寸（200毫米），单个区域。2.3英寸（60毫米） |
| 温度计
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30段PID自动智能温度控制
温度精度可达uo +/- 1C
温升迅速冷却空冷或水冷系统 |
| 真空法兰和配件
| 真空法兰套件由304不锈钢制成。
左法兰组件包括一个KF-25真空端口，两个KF-25 快速夹紧。
一个KF-25直角阀，一个KF-25真空波纹管，一个法兰 支持1/4 OD 软管接头和针形阀。
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| 真空泵 | 交流220V 50 Hz 1 / 2HP 375W
2升/ S或120升/米
已安装集油器（入口）和排气过滤器（出口）。 |
| 保证 | 一年有限保修，提供技术支持 |
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